研究内容

レーザープロセッシング

レーザー光と物質との相互作用によって生じる現象の解明に取り組んでいます. フェムト秒レーザーを固体表面に照射すると,レーザー波長よりも短い周期のナノ周期構造(レーザー誘起周期表面構造:LIPSS)が形成されます.私たちは,LIPSSの形成メカニズム解明,構造制御,そしてこの現象を活かした光デバイスやパワーデバイスの機能向上を目指しています.

半導体結晶成長

次世代半導体デバイスの材料開発に取り組んでいます. 高性能デバイスの実現に向け,欠陥の無い高品質結晶を作製するための下地基板や成膜技術の確立を目指しています.